Кремниевые пластины

Производитель:

Под заказ

Кремниевые пластины широко используются в микроэлектронике.

Кремниевые пластины изготавливаются диаметром от 2″ до 6″, основные параметры электронного качества соответствуют стандарту SEMI M1-00.

Технические характеристики
Параметры	Значения
Тип / лег. примесь	N-тип /Фосфор, Сурьма, Мышьяк. P-type /Бор
Диаметр	50.8мм, 76.2мм, 100мм, 125мм, 150мм
Точность диаметра	минимум ±0,3мм, стандартно ±0,5мм
Ориентация	(100), (111), (110)
У.Э.С.	0,001 – 140 Ом*см
Отклонение толщины от номинала в партии диаметр 50,8 мм диаметр 76,2 мм диаметр 100 мм диаметр 125 мм диаметр 150 мм	минимальное: 5 мкм 5 мкм 5 мкм 8 мкм 15 мкм	стандартное: 10 мкм 10 мкм 15 мкм 15 мкм 20 мкм
Прогиб: диаметр 50,8мм диаметр 76,2мм диаметр 100мм диаметр 125мм диаметр 150мм	минимальное: 20 мкм 25 мкм 30 мкм 35 мкм 50 мкм	стандартное: 25 мкм 30 мкм 35 мкм 40 мкм 60 мкм
Поверхность	резанная, шлифованная, травленная, одно и двухсторонне полированная
Содержание кислорода	стандартно <1010¹⁷ат/см³(<20ppma) по указанию заказчика (7-9)10¹⁷ат/см³(14-18 ppma)
Содержание углерода	стандартно <1010¹⁶ат/см³(<2ppma) по указанию заказчика <510¹⁶ат/см³(<1ppma)